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耐高温微型压力传感器
耐高温微型压力传感器主要应用于石油化工、化纤、冶金、窑炉、汽车、航空航天发动机等高温环境下的压力测量领域；该成果获国家高技术研究发展计划预启动项目“耐高温压力传感器技术研究”，以及2002年度国家高技术研究发展计划（863计划）先进制造与自动化领域MEMS重大专项“耐高温微型压力传感器实用化开发”重点课题的资助，并顺利通过国家科技部专家组验收。 该成果提出并实现了基于SOI技术的“浮雕式”耐高温固态压阻力�... |
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time:2012年5月16日 |
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