各院：

    国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2011年项目指南已经发布，请组织你院相关教师申报，具体申报要求详见附件。 请有意申报的教师及时同科研院联系。

    投稿人:蔡丽红
    单  位:科研院
    电  话:82665834
    Email:lhcai@mail.xjtu.edu.cn