2004年3月20日，由我校机械工程学院精密工程研究所蒋庄德教授等负责完成的成果“微机械力学性能测试仪”通过了教育部组织的科技成果鉴定。 
    该成果主要用于MEMS材料力学性能分析、微构件力学性能研究和其他相关领域的小体积材料性能的基础性研究，并为MEMS设计、制造及可靠性分析提供基础性支持，保证获得高可靠性和高寿命的MEMS产品。该成果获国家重点基础研究发展规划（973）“集成光机电系统”的资助。
    该成果集成了纳米压入和微梁弯曲两种测量方法，通过对微构件瞄准、定位、加载等操作可以获得大量程、高分辨率的载荷—位移曲线，能够满足MEMS材料力学性能测试要求;成果创造性地采用了整体式两级加载装置，使装置的最大位移量程可以达到1mm，最大加载力可以达到20N，同时位移分辨率可以达到10nm，力分辨率可以达到20μN；编制了MEMS材料力学性能评定和分析软件，该软件可与微机械力学性能测试仪一起组成MEMS材料力学性能测试系统，建立了MEMS典型材料力学性能数据库，该数据库包括硅、金属、非金属及其化合物、常用压头材料等多种材料的常用力学性能参数，可以在MEMS力学性能测量与评定中使用，也可以在MEMS设计、制造及其可靠性研究中使用。 
    该成果技术先进、性能可靠，填补了国内空白，其性能指标和总体水平达到国际先进水平，具有很高的性价比，在MEMS材料性能测试中具有广阔的应用前景。 


                                                       投稿人:黄忠德