为摸清国内外集成电路制造工艺装备技术及产业现状与发展趋势，提出适合我国实际情况的集成电路产业发展战略，为国家相关重大决策提供依据，科技部高新司近日组织成立了“我国集成电路制造工艺装备技术及产业发展战略”研究课题组。目前，课题组已启动相关调研活动。