科技成果

一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构

发布日期：2009-03-13浏览量：

申请号：
 200910021522.9
专利类型：
 发明
发明人：
 刁东风 王凯
申请日期：
 20090313
代理人：

上一条： 一种利用凝胶注模法制备氮化硅多孔陶瓷的方法

下一条：飞机颤振风洞模型一体化设计及制造方法