科技成果

超声喷雾热分解化合物半导体薄膜制备系统

发布日期：2007-06-15浏览量：

申请号：
 200710018065.9
专利类型：
 发明
发明人：
 郭烈锦 苏进展 李明涛 张西民
申请日期：
 20070615
代理人：

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