科技成果

一种无电极射频感应耦合等离子体放电式原子源

发布日期:2007-05-15浏览量:

申请号:
200710017858.9
专利类型:
发明
发明人:
张景文、王 东、侯 洵
申请日期:
20070515
代理人: