科技成果

一种氨气掺杂制备增强型ZnO沟道层薄膜晶体管的方法

发布日期：2007-03-20浏览量：

申请号：
 200710017537.9
专利类型：
 发明
发明人：
 张景文、张新安、侯 洵、王 东、毕 臻、
申请日期：
 20070320
代理人：

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