科技成果

低成本制作复杂三维微结构或微器件方法

发布日期：2006-05-18浏览量：

申请号：
 200610042831.0
专利类型：
 发明
发明人：
 兰红波、丁玉成、刘红忠、卢秉恒
申请日期：
 20060518
代理人：

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