科技成果

制备碳纳米管薄膜的射频等离子体增强光热化学气相沉积

发布日期：2004-03-15浏览量：

申请号：
 200420041657.4
专利类型：
 实用新型
发明人：
 朱长纯.刘卫华.刘兴辉.齐文.侯洵
申请日期：
 20040315
代理人：

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