科技成果

纳米双相复合结构zr-si-n扩散阻挡层材料及其制备工艺

发布日期：2013-12-11浏览量：

申请号：
 200310118999.1
专利类型：
 发明
发明人：
 宋忠孝.徐可为
申请日期：
 2003.12.22
代理人：
 张军

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