科技成果

基于压印光刻的复合材料真三维微电子机械系统制造方法

发布日期：2013-12-11浏览量：

申请号：
 03134596.4
专利类型：
 发明
发明人：
 洪军.丁玉成.段玉刚.曹亮
申请日期：
 2003.09.22
代理人：
 李郑健

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