科技成果

硅基微器件计算机辅助工艺规划方法

发布日期：2013-12-11浏览量：

申请号：
 03108023.5
专利类型：
 发明
发明人：
 江平宇 汪继亮 刘峥
申请日期：
 2003.05.14
代理人：
 李郑建

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