| 项目名称 |
耐高温微型压力传感器实用化开发 |
负责人 |
蒋庄德 |
| 通讯地址 |
咸宁西路28号 |
邮政编码 |
710049 |
| E-mail |
winner@mail.xjtu.edu.cn |
所在院所 |
机械学院精密工程研究所 |
| 联系人 |
赵玉龙 |
电话 |
029-82315881 |
传真 |
029-82315801 |
| 技术来源 |
本计划前期成果 |
| 拥有专利 |
新产品发明专利（已申请） |
专利号 |
01 1 28782.9 |
| 项目简介 |
研究基于SIMOX技术的耐高温压力传感器，达到目标为工作温度200℃-400℃，抗1000℃高温冲击，量程从1MPa～100MPa。非线性±0.5%Fs。固有频率20Hz-150Hz。主要研究内容：带有导电通道的选择性氧离子注入SIMOX技术的SOI硅片制作，抗瞬时超高温和长期高温冲击的总体结构设计与优化；长期工作稳定性研究等。产品达到同类产品的先进水平。填补国内在此领域的空白，并使研究成果产业化，商业化。
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| 项目优势 |
√
A 市场发展前景很好
√
B 产品或工艺创新性突出
√
C 经济效益显著
√
D 社会效益显著
√
E 其他
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| 现处阶段 |
A 研发阶段
B 小试阶段
C 中试阶段
D 批量生产阶段
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| 技术领先 |
国内外同类产品以及与同行企业的比较:产品达到国际同类产品的先进水平，填补国内在此领域的空白，并使研究成果产业化，商业化。 (科技在线，版权所有，未经许可，请勿转载
http://www.xjtust.com) |
| 项目可行性分析 |
市场规模、目标市场、竞争力分析、产品生产、资金需求、人员需求、风险分析等：
国外耐高温压力传感器以航空航天化工为主，市场年需求为几亿美元以上。
我们的目标市场为航空航天工业、核工业、工程爆破研究、石油化工等领域。产品生产主要采取与高科技公司联合推广形式，人员需求约8-10人。
经过2000年国家863MEMS预启动项目“耐高温压力传感器技术研究的实施”课题组已经掌握了研究耐高温压力传感器上午关键技术，为缩短耐高温压力传感器研制周期，促进其产业化打下了坚实的基础，将风险降到了最地低点。(科技在线，版权所有，未经许可，请勿转载
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| 合作项目 |
| 项目总投资(万) |
基建费(万) |
设备费(万) |
成果转让费(万) |
流动资金(万) |
其他(万) |
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300 |
10 |
51 |
100 |
50 |
90 |
| 厂房/办公面积及人员要求 |
150m2
10人 |
| 预计年产量 |
1000只 |
年销售额 |
200 |
| 成本(万) |
20 |
利润(万) |
180 |
| 年投资回报率% |
60% |
投资回收期 |
2 |
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| 其他需要说明的问题 |
本课题的目标就是研制适合于航空航天、石油化工、能源电力、军事等领域的耐高微型压力传感器。课题组力求使我国目前耐高温压力传感器的研究工作尽快实现商品化和产业化，成为产业发展和经济增长的新起点。(科技在线，版权所有，未经许可，请勿转载
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