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机械学院
MEMS耐高温压力传感器及技术
来源: 日期:2014年10月10日 15:48 点击数:


项目名称:MEMS耐高温压力传感器及技术
负责人:赵玉龙,白光辉
所在院系: 机械学院
联系电话:029-82668616,13991268758
E-mail:zhaoyulong@mail.xjtu.edu.cn
项目介绍:

该项目应用先进的MEMS技术,研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。研制的压力传感器主要技术指标:工作温度:-40-200℃;压力量程:0~1000MPa任意量程;固有频率:≤1MHz:综合精度:0.5 %FS。高G值加速度计指标:1×1015g(g为重力加速度)。

该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖、2004年度陕西省科技进步一等奖和2004年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20余项。

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