科技成果

半导体掺杂分布的精确测量方法

发布日期:2008-01-18浏览量:

申请号:
200810017335.9
专利类型:
发明
发明人:
苗欣 邵志标 李宇海 傅懿斌
申请日期:
20080118
代理人: