科技成果

一种Si-C-N纳米复合超硬薄膜的制备方法

发布日期：2006-06-26浏览量：

申请号：
 200610043030.6
专利类型：
 发明
发明人：
 马胜利，徐 彬，郭岩，徐可为
申请日期：
 20060626
代理人：

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