科技成果

高精度可调间隙不接触三电极

发布日期：2005-09-29浏览量：

申请号：
 200510096083.X
专利类型：
 发明
发明人：
 刘英 曹晓珑 徐阳 刘军 田希术
申请日期：
 20050929
代理人：

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