科技成果

基于湿法刻蚀MEMS压印模板制造工艺

发布日期：2005-08-08浏览量：

申请号：
 200510043070.6
专利类型：
 发明
发明人：
 段玉岗、王权岱、丁玉成、洪 军、 李涤尘
申请日期：
 20050808
代理人：

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