科技成果

霍尔源激励磁控溅射增强型多弧离子镀膜方法

发布日期：2005-03-21浏览量：

申请号：
 200510041821.0
专利类型：
 发明
发明人：
 马胜利、徐可为
申请日期：
 20050321
代理人：

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