科技成果

等离子体辅助化学气相沉积装置脉冲电源的驱动电路

发布日期：2013-12-11浏览量：

申请号：
 02139326.5
专利类型：
 发明
发明人：
 徐可为.马胜利.叶靖国.何家文
申请日期：
 2002.8.01
代理人：
 李郑健

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