科技成果

一种硅化物全自对准槽栅绝缘栅双级晶体管设计及制备工艺

发布日期：2013-12-11浏览量：

申请号：
 02114674.8
专利类型：
 发明
发明人：
 袁寿财.朱长纯
申请日期：
 2002.7.15
代理人：
 李郑健

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