负 责 人：蒋庄德

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陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心成立于2001年3月，挂牌于西安交通大学精密工程研究所，蒋庄德教授任中心主任，赵玉龙任副主任。

目前，陕西省有西安交通大学、航空618所、航天16所、骊山微电子研究所（771所）、宝鸡传感器研究所、西北工业大学等多家单位在不同的应用领域开展了MEMS的研究。为了推动陕西省的MEMS研究，陕西省MEMS研究中心作为组织协调机构，主要目的是发挥各单位的技术优势，取长补短，防止低水平重复研究；建立以大专院校及科研院所为龙头，以IC企业为骨干，研学产紧密结合的若干个国家级MEMS发展基地；使陕西省MEMS研究基础或西部地区的MEMS研究提高到较高的水平，为进一步争取国家级的MEMS研发中心打下坚实的基础，创造良好的条件。

目前，该中心拥有MEMS洁净室、各种MEMS加工设备（包括LPCVD、ICP、PECV、MCP等设备）、MEMS软件平台CoventorWare。现主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作。已申请专利13项，其中发明专利6项，两项发明、八项实用新型已授权。完成科技论文五十余篇。　

陕西省MEMS中心自成立以来，承担了以下项目中的课题任务：
“耐高温微型压力传感器实用化开发”，863重大专项（2002AA404470）；
“耐高温压力传感器技术研究”，863预启动项目（课题编号：101-01）；
“棉条检测FP传感器”，中国航空工业总公司第613研究所；
“集成微光机电系统研究课题－微机械材料力学特性相关问题研究”，973项目；
“针对高深宽比硅微结构等离子体低温刻蚀技术研究”，国家自然科学基金项目（50205020）；
“具有高宽比微传动机械零件的研制”，机械传动国家重点实验室基金项目；
“光盘表面微观形貌在线检测技术的研究”，教育部博士点基金；
“应用原子力显微镜进行纳米结构样板的制造研究”，教育部高等学校骨干教师资助计划；
“微观表面形貌测量技术”，教育部重点科技项目；
“基于计算机视觉反馈的微操作研究”，西安交通大学博士论文基金；
“MEMS技术与应用”，陕西省科技攻关重点项目；
“微型火工引爆系统MEMS安全与解除保险装置研制”，中国兵器工业第213研究所；
“组织微阵列制备仪的开发制作”，陕西西大北美基因股份有限公司。