| 项目名称 |
半导体集成电路生产工艺监测设备 |
负责人 |
李同合 |
| 通讯地址 |
西安交通大学 |
邮政编码 |
710049 |
| E-mail |
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所在院所 |
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| 联系人 |
李同合 |
电话 |
：029-82668644 |
传真 |
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| 技术来源 |
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| 拥有专利 |
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专利号 |
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| 项目简介 |
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------ C-V测试系统 ------
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CSM4A系列多功能C-V测试系统，经国家“七五”、“八五”两届重点科技攻关，已在我校研制成功，并被多个半导体集成电路生产厂家和研究所使用。该项目由陈光遂教授主持完成。原电子工业部鉴定认为：该C-V测试系统具备八项测试功能，数据可靠，实用性强，人机界面良好。总体水平已达到九十年代国际先进水平，并有独创性，可以替代进口设备。
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主要测试功能有：MOS高频CV，MOS衬底掺杂浓度分布，pn结低掺杂边掺杂浓度分布，少数载流子寿命，界面陷阱密度分布，SiO2层中可动Na+
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离子密度等测量。该测试系统主要用于，集成电路和半导体器件生产中的外延、氧化、扩散、离子注入、电子束蒸铝及表面钝化等工序的质量检测，为稳定和优化生产工艺、提高成品率提供了有力保证。亦可在科研单位和高等院校中，作为半导体表面和界面的研究工具。本系统不仅适用于硅材料和SiO2介质膜，也适用于非硅材料（如GaAs）及Si3N4介质膜的测试。
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欢迎垂询。联系电话，传呼：1928478758，
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| 项目优势 |
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A 市场发展前景很好
B 产品或工艺创新性突出
√
C 经济效益显著
D 社会效益显著
E 其他
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| 现处阶段 |
A 研发阶段
B 小试阶段
C 中试阶段
D 批量生产阶段
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| 技术领先 |
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| 项目可行性分析 |
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| 合作项目 |
| 项目总投资(万) |
基建费(万) |
设备费(万) |
成果转让费(万) |
流动资金(万) |
其他(万) |
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| 厂房/办公面积及人员要求 |
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| 预计年产量 |
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年销售额 |
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| 成本(万) |
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利润(万) |
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| 年投资回报率% |
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投资回收期 |
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| 其他需要说明的问题 |
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| 各位老师，如果您的项目要进入本推广项目库，请您及时与科技处综合部联系。请在此下载表格，填写完成后请把表格当作附件寄给我们：email:xmb977@mail.xjtu.edu.cn
， 联系电话：029-82668977
联系人：张老师、李老师 。我们将会和您所在的院联系。经确认后您的信息将被载入项目库。以前的数据如有错误之处，请及时与我们联系。 |
