西交科公〔2021〕94号

申请人:鲁广昊

申请人所在学院: 前沿科学技术研究院

被许可成果信息:

1.成果名称：一种利用等离子体刻蚀原位测量聚合物亚层光谱的方法

  完成人：鲁广昊、鲁万龙、卜腊菊

许可时限:2021年8月1日至2023年7月31日

公示时间:2021年8月2日至2021年8月16日，共15天

项目公示期间，如对上述转让成果存在异议，请实名以书面形式向科研院进行反映。

联 系 人：蔺新雅

联系电话：029-88968338

科 研 院

2021年8月2日