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耐高温压力传感器研制成功

发布日期:2004-11-11浏览量:


    近日从西安高新区传出喜讯,由西安交通大学承担的国家863计划项目——耐高温压力传感器研究取得成功。该传感器有效解决了我国石油化工、航空航天、汽车工业等领域高温环境下压力测量的技术难题,具有很高的推广和使用价值。
    据西安交大精密工程研究所教授蒋庄德介绍,由他率领的课题组经过4年研究,研制成功硅隔离耐高温卫微型压力传感器。 
    该传感器近日通过了由教育部组织的科技成果鉴定。专家们认为,该项目属国内首创,传感器性能指标和总体水平达到国际先进水平,在敏感元件集成设计和传感器结构设计等方面达到国际领先水平。 
    目前,该传感器经航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油仪器有限责任公司等单位试用表明,产品成本低、性能稳定可靠、工艺兼容性好、体积小、灵敏度高,在静态精度、耐高温工作能力及动态响应能力技术指标上可与国外同类先进产品媲美。 
    据了解,国内各领域对耐高温压力传感器的年需求总量约为4万只,而且随着国民经济和国防现代化的发展,每年以10%-32%的速率递增。而长期以来,我国耐高温压力传感器产品主要依赖进口。该产品的市场前景十分广阔。 

    来源:中国高新技术产业导报 
 




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